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電子束光刻

利用電子束直寫的方法,在光刻膠上得到預先設計的圖形。

電子束光刻機型號為JEOL JBX-9500FS,最大支持6英寸片。支持正/負光刻膠,支持套刻。套刻精度20nm,寫場拼接精度20nm,場內定位精度15nm。

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服務介紹:

利用電子束直寫的方法,在光刻膠上得到預先設計的圖形。

電子束光刻機型號為JEOL JBX-9500FS,最大支持6英寸片。支持正/負光刻膠,支持套刻。套刻精度20nm,寫場拼接精度20nm,場內定位精度15nm。

服務內容:

1. 清洗基片(視情況而定)

2. 旋涂光刻膠

3. 烘烤

4. 電子束曝光

5. 顯影/定影

6. 烘烤

7. 光學檢測


服務說明:

客戶提供:基片及版圖電子版(.gds格式)。套刻則還需提供套刻說明。

實驗周期:視難易程度而定。

收費標準:每小時××元;特殊片另行協商。


成果展示:

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