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電子束蒸發沉積薄膜

通過電子束蒸發的方法,在基底沉積薄膜。可沉積金屬及介質薄膜。

設備型號為Kurt LAB Line PVD 75,最大支持6寸片。

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服務介紹:

通過電子束蒸發的方法,在基底沉積薄膜。可沉積金屬及介質薄膜。

設備型號為Kurt LAB Line PVD 75,最大支持6寸片。

服務內容:

1. 基片清洗(視情況而定)

2. 電子束蒸發沉積薄膜

3. 光學檢測


服務說明:

客戶提供:基片。特殊材料則需客戶自行提供蒸發源材料。

實驗周期:1-2個工作日。

收費標準:××元/片次;特殊片另行協商。


成果展示:

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