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光刻設備-紫外光刻

紫外曝光系統SUSS MA/BA6

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商家介紹

MA/BA6接觸式光刻機適用于2-6英寸片及其他不規則碎片的紫外曝光。 該系統適用于MEMS,光學器件及化合物半導體的研究和生產。



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公司名稱:華慧芯科技(天津)有限公司

平臺簡介: 

    清華大學天津電子信息研究院高端光電子芯片創新中心,占地約800平方米,其中百級黃光區100平方米。中心擁有完整的光電子器件研發設備,支持III-V族半導體、硅基半導體、二維材料、柔性材料、金屬材料等光電子芯片的研發,并具有多個納米尺度的特色工藝模塊和先進表征模塊;配套的測試實驗室提供國際領先的芯片測試分析技術。

    中心在支持天津電子院項目孵化的同時,面向社會開放,提供納米尺度下光電子芯片的制備工藝的解決方案,以提升我國光電子芯片的研發水平和產業化進程。

地址:天津

服務保障:已審核 已通過企業認證


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